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Einfluß der Kondensatorkeramik‐Oberfläche auf die chemische Abscheidung von Nickelschichten
Author(s) -
Gesemann R.,
Bechtloff U.,
Bürger W.,
Fischer W.
Publication year - 1977
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19770120806
Subject(s) - die (integrated circuit) , chemistry , materials science , nanotechnology
Rutilhaltige Keramik ist für die Herstellung von Miniaturfolienkondensatoren von großer Bedeutung. Die chemisch‐reduktive Abscheidung geeigneter Metallschichten — z.B. Nickel — ist als Aufbringverfahren der Kontaktschichten für die Kondensatoren geeignet. Die Oberflächen der Keramiken haben auf die Abscheidung der Metallschichten einen großen Einfluß, besonders auf die Haftfestigkeit der Schichten. Die Ausgangsoberflächen verschiedener Keramikmassen und die Oberflächen mit unterschiedlichen keramischen Formgebungsverfahren hergestellter Keramikplatten werden vorgestellt und ihr Einfluß auf die Haftfestigkeit dargelegt. Durch gezielte Ätzverfahren kann die Struktur der Oberfläche verändert und die Haftfestigkeit der Metallschichten verbessert werden. Der Haftmechanismus wird diskutiert.