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Aus flüssiger Phase abgeschiedene, dotierte VO 2 ‐Schichten und deren Widerstands‐Temperatur‐Verhalten
Author(s) -
Bruchlos H.,
Ufert K.D.
Publication year - 1977
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19770120209
Subject(s) - chemistry , materials science
Reine sowie aluminium‐ und wolframdotierte VO 2 ‐Schichten wurden mit einem Flüssigphasenverfahren hergestellt. Das Widerstands‐Temperaturverhalten der Schichten wurde untersucht: Die VO 2 ‐Schichten erreichen nahe die Qualität des einkristallinen Materials. Für die Wirksamkeit der Dotierung ist die Rekristallisation der VO 2 ‐Schichten von entscheidender Bedeutung.