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Strukturierung und Verhalten von AuGaSb‐Kontakten
Author(s) -
Vogel Klaus K.,
Engel Aribert
Publication year - 1977
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19770120105
Subject(s) - physics
Der Einfluß der Herstellungsbedingungen von Au‐Kontakten auf ihre Struktur und das elektrische Verhalten wurde an p‐ und n‐GaSb untersucht. Die nach Czochralski gezogenen GaSb‐Proben haben (111)‐Orientierung und sind mit p = 2–5 · 10 17 cm −3 eigenleitend bzw. mit n = 4–8 · 10 17 cm −3 Te‐dotiert. Besonders wurde der Einfluß verschiedener Nachbehandlungstemperaturen zwischen 20°C und 400°C auf die Kontakteigenschaften studiert. An den hergestellten Au‐Kontakten erfolgten Widerstandsmessungen nach der Vierspitzenmethode. Es wurde eine Änderung des Kontaktwiderstandes in Abhängigkeit von der Nachbehandlungstemperatur und vom eingesetzten Drahtkontaktierverfahren festgestellt.