Betrachtungen zur Struktur aufgedampfter Metallschichten für Widerstandsbauelemente

Die Möglichkeit zur Bildung von mindestens zwei und mehr Phasen ist Voraussetzung zur Eignung einer aufgedampften Metallschicht für die Herstellung von Widerstandsbauelementen der Elektrotechnik. Die geforderten elektrischen Eigenschaften resultieren aus einer Struktur der Schicht, die von der kristallinen Ordnung abweicht. Die Struktur der artiger Schichten ist röntgenamorph, wobei die optimalen elektrischen Eigenschaften für das Widerstandsbauelement in einem ganz engen Bereich auftreten, der in der Nähe der kristallinen Ordnung liegt. Die Reproduzierbarkeit der Schichteigenschaften ist von der „Treffsicherheit” dieser Schichtstruktur bei der Herstellung abhängig.