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Der Einfluß der Rauhigkeit der Probenoberfläche auf die Ergebnisse ellipsometrischer Messungen bei GaAs
Author(s) -
Löschke K.,
Kühn G.
Publication year - 1976
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19760110609
Subject(s) - physics , philosophy
Die Ergebnisse ellipsometrischer Messungen an GaAs zeigen einige Diskrepanzen. Diese Tatsache wird auf Oberflächenrauhigkeiten zurückgeführt und an Hand eines einfachen Modells diskutiert. Es wird gezeigt, in welcher Art und Weise eine rauhe Oberfläche die ellipsometrisch gemessene Filmdicke und den Brechungsindex beeinflußt.