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Zum Einsatz der quantitativen Lichtmikroskopie bei der Versetzungsdichtebestimmung von GaAs‐〈100〉‐Kristallen
Author(s) -
Richter H.,
Fröhlich H.
Publication year - 1976
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19760110314
Subject(s) - physics
Abstract Das Prinzip der Linearanalyse mit dem EPIQUANT ist für die metallographische Messung der Versetzungsdichte von GaAs‐〈100〉‐Kristallen anwendbar. Die linearanalytischen Meßdaten werden unter Verwendung von mathematisch‐statistischen Beziehungen in Flächendaten umgerechnet. Für große Versetzungsdichten ergibt die Registrierung des Schnittlängenanteils N LE der Versetzungsätzgruben genauere Meßwerte gegenüber der Anzahl N E der von der Meßlinie geschnittenen Versetzungsätzgruben.