Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Krümmungen einkristalliner, scheibenförmiger Körper

Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen tritt das Problem der Verkrümmung einkristalliner Scheiben auf, ein Ausdruck der im technologischen Prozeß mit jedem Bearbeitungsschritt zunehmenden Zerstörung der Kristallperfektion. Die Bestimmung der Verkrümmung kann folglich Aufschluß über den Einfluß eines jeden Bearbeitungsschrittes auf die inneren Spannungen des Kristallkörpers geben. In dem Beitrag wird ein solches Verfahren beschrieben, das auf der Ausnutzung der Braggschen Reflexion eines Röntgenstrahles an den Netzebenen des Kristallkörpers zur Bestimmung der Netzebenenneigung beruht. Es wird eine auf diesem Verfahren beruhende Vorrichtung vorgeschlagen, die einen hohen Automatisierungsgrad zuläßt.