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Zu einer neuen Methode des Trennschleifens von einkristallinen Halbleiterwerkstoffen
Author(s) -
Seyfarth H.,
Richter F.,
Borchardt W.,
Artopee G.,
Frahnow D.
Publication year - 1975
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19750100714
Subject(s) - gynecology , political science , medicine
Beim Innenboart‐Trennschleifen bringt eine zusätzliche Rotation des Werkstückes in verschiedener Hinsicht grundsätzlich neue Verhältnisse, die in ihren praktischen Auswirkungen diskutiert werden. Die Anwendung des rotierenden Kristalls gestattet es, wesentliche Informationen über die Wechselwirkung zwischen Werkzeug und Werkstück zu gewinnen. Andererseits können durch geeignete Wahl der Drehzahlen die Belastungsbedingungen des Trennboarts in einem weiten Bereich variiert werden. Beispiele für diese beiden Hauptanwendungsgebiete des Verfahrens werden beschrieben.