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Oberflächenbeurteilung von bearbeiteten Siliziumscheiben
Author(s) -
Baehr R.,
Kressner F. H.
Publication year - 1975
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19750100413
Subject(s) - gynecology , medicine
Zur Beurteilung der Oberflächen von unterschiedlich bearbeiteten Siliziumeinkristallscheiben wurde die Methode der Reflexionsbeugung schneller Elektronen (RHEED) am Elektronenmikroskop und daneben die röntgenographische Doppelkristallspektrometrie angewendet. Auf Grund der sich ergebenden Beugungsbilder und der erhaltenen Rockingkurven sowie der ergänzenden Oberflächenabbildung über Replikatechnik am Elektronenmikroskop kann eine Beurteilung der Silizium‐Scheiben hinsichtlich der Störungen in der Oberflächenzone erfolgen.