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Automatische Intensitätsoptimierung bei der Röntgentopographie
Author(s) -
Keppler U.,
Meier M.,
Neifeind A.
Publication year - 1975
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19750100312
Subject(s) - philosophy , physics
Zur routinemäßigen Untersuchung von Kristallbaufehlern in Halbleiterscheiben erwies sich die bisher verwendete Scanning‐Oscillating‐Technik als unzureichend. Im folgenden Beitrag wird eine elektronische Justiervorrichtung beschrieben, die während der gesamten Translation der Halbleiterscheibe eine optimale Intensität gewährleistet. Dadurch läßt sich die Belichtungszeit wesentlich verkürzen.