Premium
Zur Abbildung von Isolierschichtdefekten im Elektronenspiegelmikroskop
Author(s) -
Weidner G.,
Weissmantel Chr.,
Herberger J.,
Heydenreich J.
Publication year - 1975
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19750100309
Subject(s) - chemistry , physics , humanities , philosophy
Anknüpfend an Untersuchungen zum Abbildungsverhalten von homogenen Isolatorschichten werden Überlegungen zur Abbildung von Schichtinhomogenitäten angestellt, die eine Kontrastverstärkung durch Aufladungserscheinungen erwarten lassen. Durch definierte Wahl des Unterlagenpotentials ist eine Unterscheidung geometrischer Schichtdefekte (Erhebungen, Vertiefungen, Löcher) und elektrischer Inhomogenitäten der Isolierschicht (Bereiche erhöhter bzw. verminderter Leitfähigkeit) möglich, wie die experimentellen Untersuchungen zeigen. Unterscheidungsmerkmale für die einzelnen Fälle lassen sich angeben. Es zeigt sich, daß die Nachweisempfindlichkeit für die Erfassung von Inhomogenitäten in unbedeckten Isolatorschichten größer ist, als bei der Untersuchung leitfähig bedeckter Schichten.