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Bildungsbedingungen und Struktur dünner Bi 1− x Sb x ‐Schichten
Author(s) -
Rechenberg I.
Publication year - 1974
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19740091004
Subject(s) - crystallography , chemistry
Dünne polykristalline Bi 1− x Sb x ‐Filme mit azimutaler Orientierung der Kristalle wurden durch die Flashtechnik und die Katodenzerstäubung abgeschieden. In Abhängigkeit von den Bildungsbedingungen wurde die Struktur dieser Filme analysiert. Die Strukturuntersuchungen wurden mit Hilfe der Transmissionselektronenmikroskopie, der Elektronenbeugung und der Elektronenstrahlmikroanalyse durchgeführt. Wenn man die Schichten nach ihrer Orientierung, der Qualität ihrer Oberfläche und der durchschnittlichen Kristallitgröße beurteilt, so ist die Flashaufdampftechnik der Katodenzerstäubung unter den hier gewählten experimentellen Bedingungen überlegen. Das Bi/Sb‐Verhältnis ändert sich nicht gegenüber dem Target bzw. Quellenmaterial während der Filmbildung.