Die Lösung von Halbleiterproblemen mit der Elektronenstrahlmikrosonde

Es wird ein Überblick gegeben über die Anwendung der Elektronenstrahlmikrosonde zur chemischen Analyse von Halbleitermaterialien und Halbleiterbauelementen sowie zur Untersuchung von pn‐Übergängen. Die Untersuchungsergebnisse beziehen sich auf den Nachweis von Ausscheidungsvorgängen der Verunreinigungen und deren Auswirkung auf die elektrischen Parameter der Halbleiterbauelemente. Es wird gezeigt, daß die Anwendung der Induzierten‐Stromsignal‐Methode die Abbildung der pn‐Übergänge und den Nachweis verschiedener Fehlermechanismen ermöglicht.