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Aufbau und Eigenschaften „ohmscher”︁ Kontakte an GaSb
Author(s) -
Vogel K.,
Engel A.
Publication year - 1973
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19730080913
Subject(s) - physics
Ausgehend von einigen allgemeinen Betrachtungen zum Begriff „ohmscher” Kontakt werden Messungen der Kontaktwiderstände von Ag‐, Au‐; Ni‐, Al‐; In‐, Sn‐und Ag–In‐Kontakten dargestellt, die durch Aufdampfung auf p‐ und n‐GaSb erzeugt wurden. Die Schritte zur Herstellung dieser Kontakte wurden kristallographisch untersucht. Die Messung der Kontaktwiderstände erfolgte nach der Vierspitzenmethode. Die experimentellen Bestimmungen des Kontaktwiderstandes R K bzw. ϱ K zeigen einen deutlichen Einfluß der Oberflächenbehandlung und Oberflächenstruktur, des Kontaktmetalls und der Meßtemperatur. Sn/Ag/Au‐Kontakte an n‐GaSb sowie Ag‐ und Au‐Kontakte an p‐GaSb liefern nach einem Legierungsprozeß sperrfreie Kontakte.