Untersuchung von pn‐Übergängen mit und ohne Oxidschicht mittels Elektronenspiegelmikroskopie in Schattenabbildung

Für die Abbildung der Proben setzt die Kontrastübersteuerung eine Grenze, die theoretisch und durch Aufnahmen demonstriert wird. Der Kontrast der pn ‐Übergänge mit Oxidschicht im Bild in Abhängigkeit von der Querspannung wird mit Fotometerkurven und durch Rechnung demonstriert. Es wird die Aufnahme einer kreisförmigen, positiven Aufladung gezeigt, deren Kontrast eine gute Übereinstimmung mit den Rechnungen von Lenz und Krimmel besitzt.