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Die Phasenbildung von β‐W‐Strukturtyp in dünnen Schichten von Chrom, Molybdan und Wolfram
Author(s) -
Blocha W. B.,
Gladkich N. T.,
Protsenko I. E.
Publication year - 1972
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19720071104
Subject(s) - chemistry , crystallography
Die Bildungsverhältnisse einer Phase vom β‐W‐Strukturtyp in dünnen Schichten von Chrom, Molybdän und Wolfram werden bei deren Herstellung durch thermische Verdampfung und Kondensation im Vakuum von 10 −8 ÷ 10 −5 mm Hg untersucht. Die Ergebnisse der Elektronenbeugungsuntersuchung der Schichtstruktur von Chrom, Molybdän und Wolfram werden für Schichten mit langdauernder (bis zu einem Jahr) natürlicher Alterung und deren Glühen bis 900°C in einer Elektronenbeugungsanlage angegeben. Auf der Basis der experimentellen Ergebnisse und von Literaturangaben wird gezeigt, daß die Phase vom β‐W‐Strukturtyp, die bei kleinen Kondensationsgeschwindigkeiten in den Schichten von Chrom, Molybdän und Wolfram beobachtet wird, ein M 3 O‐Oxid und keine Modifikation dieser Metalle ist. Es werden die Ergebnisse einer Untersuchung des Zerfalls von M 3 O‐Oxid für Cr‐, Mo‐ und W‐Schichten angegeben.