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Die Anwendung des Quantimet zur Ätzgrubendichtebestimmung an Silizium‐Einkristallen
Author(s) -
Hildebrand H.,
Schubert R.
Publication year - 1972
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19720071009
Subject(s) - physics , chemistry
Eine quantitative Strukturbewertung von geätzten Silizium‐Kristallen ist mit dem Mikroskop Quantimet mit einer schnellen Partikelzählung, z.B. Ätzgruben auf {111}‐Ebenen, möglich. Meßtechnische Randbedingungen sind die erforderliche Ätzgrubengröße von < 3 … 5 μm, eine ebene Probenoberfläche, die richtige optische Vergrößerung, der Schwellwert und die Annahmebreite. Strukturbedingte Fehlerquellen ergeben sich aus der Überlappung der Ätzgruben bei Versetzungsdichten > 10 4 cm −2 , die infolge der reduzierten Signalanzeige zu einer Unterbestimmung der Ätzgrubenzahl führt. Eine Überbestimmung wird meist durch einen unerwünschten Kontrast in der Oberfläche verursacht, der zusätzliche Signalanzeigen liefert. Die Fehler können durch Verwendung einer Eichkurve eliminiert werden. Infolge des geringen Zeitbedarfes, den das Zählen erfordert, ist das Quantimet für Routinemessungen und für die quantitative Abschätzung von Strukturdefekten (Ätzgrubendichte) in Silizium, einschließlich der Berücksichtigung möglicher Fehler, gut einsetzbar.