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Kinetik des Transportprozesses und der Kristallisation von InAs aus der Gasphase
Author(s) -
Nicolaus W.,
Seidowski E.,
Voronin V. A.
Publication year - 1972
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19720070511
Subject(s) - chemistry , physics
Es wird der Transportprozeß von InAs im geschlossenen Jodsystem untersucht. Abhängigkeiten der Transportraten von der Temperatur im Lösungs‐ und Kristallisationsraum und von der Querschnittsfläche des Reaktors werden gefunden. Dabei wird in den durchgeführten Versuchen der Transport durch die Diffusion begrenzt. Die Abscheidungsgeschwindigkeiten des InAs werden nach Gleichungen der Quasigleichgewichts‐Diffusionstheorie berechnet. Sie werden mit experimentellen Werten der Transportrate verglichen. Die Vernachlässigung des konvektiven Anteils beim Gastransport führt zu erheblichen Abweichungen der durch die Theorie vorausgesagten Werten von den experimentellen. Im Temperaturbereich von 800 bis 900°C bei Jodkonzentrationen < 3 mg/cm 3 wird der Transport von InAs durch die Konzentrationsdiffusion kontrolliert, bei Jodkonzentrationen >3 mg/cm 3 wird die Transportrate durch die Gleichung der konvektiven Diffusion wiedergegeben.