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Röntgentopographie von gekrümmten Halbleiterscheiben
Author(s) -
Jegerlehner K.,
Mohr U.
Publication year - 1972
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19720070132
Subject(s) - philosophy , physics
In der vorliegenden Arbeit wird ein Überblick über röntgentopographische Methoden zur Untersuchung von Halbleitermaterialien gegeben. Speziell wird auf die SO‐Technik eingegangen und die Apparatur einer Anwendungsvariante vorgestellt. An Hand von Beispielen werden Anwendungsmöglichkeiten der SO‐Technik erläutert.