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Beiträge zum Ätzen von Galliumarsenid (I) Strukturtheoretische Diskussion der erzeugten Ätzmorphologien
Author(s) -
Neels H.,
Voigt R.
Publication year - 1971
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19710060211
Subject(s) - chemistry
{111}‐, {110}‐ und {100}‐Scheiben von GaAs wurden in verschiedenen Ätzmedien geätzt und die entstandenen Ätzstrukturen untereinander verglichen. Grundlage der Diskussion hierbei war die bestehende Korrelation zwischen Ätzgrubenmorphologie und Kristallstruktur. Wie sich zeigen läßt, finden unter Einbeziehung des Vorhandenseins primärer Baufehler als konstitutive Eigenschaft der Realkristalle sowie unter der Beachtung erfaßbarer Milieufaktoren die beobachteten mannigfaltigen Ätzerscheinungen auf {111}, {100} und {110} in der für GaAs charakteristischen Struktur ihre qualitative Deutung.