Premium
Hochvakuumaufdampfung von Germanium auf NaF und NaCl
Author(s) -
Mietz I.
Publication year - 1968
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19680030205
Subject(s) - chemistry , physics
Bei einem Vakuum von 10 −5 Torr wurde Germanium auf luftgespaltene und vakuumgespaltene NaCl‐ und NaF‐Substrate aufgedampft. In Abhängigkeit von der Substrattemperatur (280–500°C), der Aufdampfgeschwindigkeit (1–35 Å s −1 ) und der aufgedampften Schichtdicke (100–1500 Å) wurde die Struktur der Germaniumabscheidungen untersucht. Hierbei interessierten der Übergang amorph/kristallin, die Zahl und Größe der Kristallite, ihre Orientierung und Anordnung auf der Substratoberfläche sowie der prozentuale Anteil der mit Germaniumkristalliten bedeckten Substratoberfläche. Die Untersuchungen erfolgten mit einem Elektronenmikroskop durch Abbildung und Beugung.