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Zur Kristallperfektion von Halbleiterepitaxieschichten (I) Nachweis und Identifizierung von Epitaxiebaufehlern
Author(s) -
Schulz M.
Publication year - 1967
Publication title -
kristall und technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.377
H-Index - 64
eISSN - 1521-4079
pISSN - 0023-4753
DOI - 10.1002/crat.19670020414
Subject(s) - philosophy , gynecology , medicine
Mit der Beschreibung der typischen Epitaxiebaufehler werden die Nachweis‐ und Registrierbedingungen diskutiert. Es wird gezeigt, daß die spezifischen Eigenschaften der Halbleiterepitaxieschichten gegenüber kompakten Materialien abweichende Untersuchungsmethoden erfordern. Die erzielten Ergebnisse bilden die Grundlage für die in den folgenden Teilen noch darzustellenden Untersuchungen.