Contrǒle hydrodynamique en convection mixte de l'épaisseur de dépǒts en phase gazeuse de semi‐conducteurs sur des corps à symétrie de révolution

Les auteurs résolvent à l'aide d'une méthode aux différences finies les équations de la couche limite laminaire et permanente qui entoure des corps à symétrie de révolution (sphère, ellipsoïdes allongé et aplati), au nez orienté vers le haut, portés, à 500°C, en rotation uniforme autour d'un axe vertical dans un écoulement axial descendant de gaz d'hydrogène à 25°C. La variabilité des propriétés physiques; du fluide en fonction de la température est prise en compte ainsi que la convection naturelle qui en résulte. Les auteurs montrent que l'écoulement et les transferts dépendent de façon significative de cette variabilité et qu'il est possible de contrǒler la croissance des couches limites thermique et massique en agissant sur les conditions opératoires, notamment sur le profil des corps. Une application directe de ce travail est le contrǒle des dépǒts en phase vapeur.