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Approche hydrodynamique d'une réaction de pulvérisation chimique
Author(s) -
Leseur Ph.,
Morancho R.,
Constant G.
Publication year - 1986
Publication title -
the canadian journal of chemical engineering
Language(s) - French
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.404
H-Index - 67
eISSN - 1939-019X
pISSN - 0008-4034
DOI - 10.1002/cjce.5450640207
Subject(s) - chemistry , humanities , physics , materials science , art
Les exemples d'utilisation des aérosols générés par voie pneumatique ou ultrasonique dans l'élaboration de couches minces de composés divers (oxydes, semi‐conducteurs etc.) sur des substrats variés sont nombreux. Cependant, si les auteurs rapportent des résultats sur la composition chimique et les propriétés physiques des revêtements, ils ne font pas état d'études sur les conditions hydrodynamiques de l'écoulement de l'aérosol. Le travail présenté ici a pour but de montrer l'importance de ce paramètre et d'en faire ressortir les incidences sur la composition, la morphologie et les propriétés des couches.