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Chemische Umsetzungen der Carbide, Nitride und Oxide von Metallen der IV. bis VI. Nebengruppe in der HF‐Plasmaflamme
Author(s) -
Hartl K.
Publication year - 1967
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.330392107
Subject(s) - nitride , physics , materials science , nanotechnology , layer (electronics)