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Getter‐Ionenpumpen Wirkungsweise, Aufbau und Verwendungsmöglichkeiten in Wissenschaft und Technik
Author(s) -
Kienel Gerhard
Publication year - 1962
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.330340207
Subject(s) - chemistry , getter
Von den zahlreichen heute bekannten Getterstoffen eignet sich für Getter‐lonenpumpen Titan am besten. Da die Wirkung der Getterstoffe gegenüber den verschiedenen Gasen selektiv ist und Edelgasatome im neutralen Zustand von keinem Getterstoff in nennenswerten Mengen bei Zimmertemperatur aufgenommen werden, entsteht erst durch die Kombination von Getterprozeß und elektrischer Gasaufzehrung eine für die Hoch‐ und Ultrahochvakuumtechnik brauchbare Pumpe. Obwohl über den Aufzehrme chanismus selbst noch keine umfassenden Kenntnisse vorliegen, gibt es bereits eine ganze Anzahl technisch bewährter Getter‐lonenpumpen. Charakteristische Eigenschaften und Anwendungsmöglichkeiten einiger erprobten Typen von Getter‐lonenpumpen werden ausführlich erörtert.