Premium
Herstellung von Nanostrukturen mittels Atomlagenabscheidung
Author(s) -
Langner A.,
Knez M.,
Gösele U.
Publication year - 2008
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.200800107
Subject(s) - chemistry
Die kontrollierte Manipulation von Materialien auf einer Größenskala bis in den Nanometerbereich ist heutzutage ein wesentlicher Bestandteil moderner Technologie. Dieser Übersichtsartikel behandelt eine Methode, die zum kontrollierten Dickenwachstum von Elementen und Verbindungen auf zahlreichen Substraten verwendet wird.