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Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie
Author(s) -
Mohn J.,
Gälli R.,
Emmenegger L.
Publication year - 2006
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.200600037
Subject(s) - fourier transform infrared spectroscopy , chemistry , nuclear chemistry , physics , quantum mechanics
Bei der Herstellung von Mikroelektronikbausteinen werden zahlreiche sehr teure, reaktive und klimaschädigende Prozessgase eingesetzt. Deshalb haben die entsprechende Prozessoptimierung, sowie die Entwicklung und Kontrolle geeigneter Recycling‐ bzw. Abgasreinigungseinrichtungen, eine große wirtschaftliche und ökologische Bedeutung. Grundlage dafür ist die kontinuierliche Bestimmung der Prozessgaszusammensetzung mit hoher Präzision und zeitlicher Auflösung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde eine dafür geeignete Messmethode, basierend auf der Fourier Transform Infrarot (FTIR) ‐Spektroskopie, entwickelt und validiert.