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Modellierung von Nanopartikel‐Kontamination auf kritischen Oberflächen in der Halbleiterindustrie
Author(s) -
Asbach C.,
Kim J. H.,
Yook S. J.,
Pui D. Y. H.,
Engelke T.,
Fissan H.,
van der Zwaag T.
Publication year - 2005
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.200580036
Subject(s) - physics , library science , computer science