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Kolloidchemische und grenzflächenphysikalische Aspekte bei der Entwicklung von Kupfer‐CMP‐Slurries
Author(s) -
Nennemann A.,
Krüger L.,
Puppe L.,
Passing G.,
Hey G.,
Kirchmeyer S.
Publication year - 2005
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.200407064
Subject(s) - art , philosophy