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Baukastenkonzepte für die Mikroverfahrenstechnik: Das FAMOS‐System
Author(s) -
Löbbecke S.
Publication year - 2004
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/cite.200403395
Subject(s) - die (integrated circuit) , materials science , nanotechnology
No abstracts.