Premium
Ein N‐heterocyclischer Carbenkomplex des Silbers für die plasmaunterstützte räumlich getrennte Atomlagenabscheidung dünner Silberschichten bei Atmosphärendruck
Author(s) -
Boysen Nils,
Hasselmann Tim,
Karle Sarah,
Rogalla Detlef,
Theirich Detlef,
Winter Manuela,
Riedl Thomas,
Devi Anjana
Publication year - 2018
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.201808586
Subject(s) - chemistry , polymer chemistry , medicinal chemistry
Ein Silberamidkomplex eines N‐heterocyclischen Carbens, (1,3‐Di‐ tert ‐butyl‐imidazolin‐2‐yliden)silber(I)‐1,1,1‐trimethyl‐ N ‐(trimethylsilyl)silanamid [(NHC)Ag(hmds)], wurde synthetisiert, mittels Einkristall‐Röntgenstrukturanalyse, 1 H‐ und 13 C‐NMR‐Spektroskopie und EI‐Massenspektrometrie analysiert, sowie bezüglich seiner thermischen Eigenschaften untersucht. Diese neue halogen‐ und phosphorfreie Vorstufe für die Atomlagenabscheidung (ALD) wurde in einem plasmaunterstützten räumlich getrennten (APP‐)ALD‐Prozess unter Atmosphärendruck für die Abscheidung dünner Silberschichten genutzt. Besonders reine und elektrisch leitende dünne Silberschichten mit einem geringen Flächenwiderstand von 0.9 Ω/sq (10 −5 Ωcm) wurden bei 100 °C abgeschieden und mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, optischer Transmissionsspektroskopie und Rutherford‐Rückstreuspektrometrie untersucht. Die Carben‐basierte ALD‐Vorstufe und der zugehörige APP‐ALD‐Prozess ermöglichen zukünftige Anwendungen solcher Silberschichten.