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Frontispiz: Synthesis of Calcium(II) Amidinate Precursors for Atomic Layer Deposition through a Redox Reaction between Calcium and Amidines
Author(s) -
Kim Sang Bok,
Yang Chuanxi,
Powers Tamara,
Davis Luke M.,
Lou Xiabing,
Gordon Roy G.
Publication year - 2016
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.201683561
Subject(s) - chemistry , redox , calcium , atomic layer deposition , deposition (geology) , layer (electronics) , inorganic chemistry , photochemistry , organic chemistry , paleontology , sediment , biology
Atomlagenabscheidung R. G. Gordon et al. berichten in der Zuschrift auf S. 10384 ff. über die Verwendung eines unbeständigen dimeren Calcium(II)‐Amidinat‐Komplexes als hoch effiziente ALD‐Vorstufe für die Synthese von einheitlichen CaS‐Filmen.