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Silicium‐kompatible Mikro‐Superkondensatoren
Author(s) -
Zhuang Xiaodong,
Feng Xinliang
Publication year - 2016
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.201603040
Subject(s) - chemistry , materials science , physics
Carbid übernimmt die Haftung : Kürzlich erzeugte die Gruppe um Simon elastische Kohlenstoff(CDC)‐Filme auf Silicium‐Wafern ohne das Auftreten von Delaminierung oder Rissbildung. Das vorgestellte Fabrikationsprotokoll für CDC‐Filme ist von besonderer Bedeutung für die praktische Anwendung von Mikro‐Superkondensatoren in der Silicium‐basierten und flexiblen Elektronik.