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Electrochemical X‐ray Photolithography
Author(s) -
Eliseev Andrei A.,
Sapoletova Nina A.,
Snigireva Irina,
Snigirev Anatoly,
Napolskii Kirill S.
Publication year - 2012
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.201204801
Subject(s) - chemistry , electrochemistry , photolithography , stereochemistry , nanotechnology , materials science , electrode
Das Beste aus beiden Welten : Die elektrochemische Röntgenphotolithographie vereint die Vorteile der Röntgenphotolithographie mit der Vielseitigkeit elektrochemischer Verfahren. Das Prinzip dieser Methode wurde am Beispiel der elektrochemischen Abscheidung von Nickel demonstriert, wobei unter kohärenter Röntgenbestrahlung durch eine Maske mit 4 μm Lochabstand ein regelmäßiges Nickelmuster erhalten wurde (siehe Bild).