Elektronenstrahlinduzierte Abscheidung metallischer Mikrostrukturen aus geschmolzenen Salzfilmen auf leitenden und nichtleitenden Substraten

Mikroschach : Die Verwendung einer dünnen, flüssigen Elektrolytschicht als Vorstufe ermöglicht eine direkte elektronenstrahlinduzierte Metallabscheidung auf leitenden und nichtleitenden Substraten. Der Massentransport im Film ist ausschlaggebend für Keimbildung und Wachstum von Silberkristalliten, die fest an der Substratoberfläche haften. Die Schreibgenauigkeit der Strukturen liegt in der Größenordnung der Filmdicke (Bild: Schachbrettmuster aus Silberteilchen auf Silicium).