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Low‐Temperature ABC‐Type Atomic Layer Deposition: Synthesis of Highly Uniform Ultrafine Supported Metal Nanoparticles
Author(s) -
Lu Junling,
Stair Peter C.
Publication year - 2010
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.200907168
Subject(s) - nanoparticle , chemistry , atomic layer deposition , metal , nanotechnology , library science , layer (electronics) , polymer chemistry , stereochemistry , materials science , organic chemistry , computer science
Behütete Aufzucht : Eine neue Methode für die Synthese von einheitlichen, kleinen, trägerfixierten Metallnanopartikeln durch Atomlagenabscheidung (ALD) wird beschrieben. Der ALD‐Prozess beruht auf der simultanen Abscheidung von geschützten Metallnanopartikeln und neuen Trägerschichten bei niedrigen Temperaturen. Anschließend werden die Metallnanopartikel aktiviert, indem die Schutzliganden durch Kalzinieren oder Reduktion bei erhöhten Temperaturen entfernt werden (siehe Bild).