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Uniform, Axial‐Orientation Alignment of One‐Dimensional Single‐Crystal Silicon Nanostructure Arrays
Author(s) -
Peng Kuiqing,
Wu Yin,
Fang Hui,
Zhong Xiaoyan,
Xu Ying,
Zhu Jing
Publication year - 2005
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.200462995
Subject(s) - nanostructure , crystallography , silicon , materials science , nanotechnology , chemistry , physics , optoelectronics
Feine Kratzer auf der Oberfläche : Eine einfache Ätztechnik, die von einem Ag‐Nanopartikelnetzwerk unterstützt wird und großflächige 1D‐Anordnungen von Siliciumnanostrukturen mit der gewünschten Orientierung und Dotierungscharakteristik liefert, wird vorgestellt (siehe Bild). Aus den experimentellen Befunden wird ein Mechanismus für das hoch selektive Ätzen abgeleitet.