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Surface‐Templated Nanostructured Films with Two‐Dimensional Ordered Arrays of Voids
Author(s) -
Jiang Peng
Publication year - 2004
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.200460539
Subject(s) - materials science , nanotechnology , crystallography , chemistry
Abziehbilder : Kolloidkristalle mit dreidimensionaler Ordnung und periodischen Oberflächen dienen als Template für die Bildung gerasterter Oberflächen einer Vielzahl funktioneller Materialien, z. B. Metalle, Halbleiter und Dielektrika. Mithilfe dieser nichtlithographischen Methode erhält man in kurzer Zeit Proben von Wafergröße mit Periodizitäten im Submikrometerbereich (siehe Bild).