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Hochdurchsatzmethode zur impedanzspektroskopischen Charakterisierung resistiver Gas‐Sensoren
Author(s) -
Frantzen Andreas,
Scheidtmann Jens,
Frenzer Gerald,
Maier Wilhelm F.,
Jockel Jörg,
Brinz Thomas,
Sanders Daniel,
Simon Ulrich
Publication year - 2004
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.200352424
Subject(s) - humanities , physics , chemistry , philosophy
Eine kombinatorische Prozesskette zur Synthese und Testung dicker Oxidfilme wurde für die Entwicklung neuer Gas‐Sensoren aufgebaut. Teil dieser Kette ist die Synthese und Erzeugung von Mischoxidschichten mit variabler Zusammensetzung. Eine Materialbibliothek wurde auf einem Array von 8×8 Interdigitalelelektroden hergestellt (siehe Bild). Bei der Charakterisierung der Felder wurde die Abfolge der Prüfgase und die Umgebungstemperatur den Anforderungen entsprechend variiert.