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The chemistry of metal CVD. Herausgegeben von T. T. Kodas und M. J. Hampden‐Smith. VCH Verlagsgesellschaft, Weinheim, 1994. 538 S., geb. 228.00 DM. – ISBN 3‐527‐29071‐0
Author(s) -
Fischer Roland A.
Publication year - 1995
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - English
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.19951071132
Subject(s) - chemistry , polymer science