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β‐CoGa‐ und ε‐NiIn‐Filme aus metallorganischen Einkomponentenvorstufen: Ligandenkontrolle der Schichtzusammensetzung
Author(s) -
Fischer Roland A.,
Scherer Wolfgang,
Kleine Matthias
Publication year - 1993
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.19931050532
Subject(s) - chemistry , polymer chemistry , medicinal chemistry
Die Gasphasenabscheidung binärer Materialien aus Einkomponentenvorstufen ist vor allem dann vorteilhaft, wenn alle wesentlichen Faktoren für den Beschichtungsprozeß in die Molekülstruktur der Vorstufe eingearbeitet sind und so lediglich Druck und Temperatur als Regelparameter erhalten bleiben. Dieses Konzept wird an heterodinuclearen Komplexen wie 1 demonstriert, deren milde Pyrolyse intermetallische Filme ergibt, die für mikroelektronische Zwecke von Bedeutung sind.