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Mikroporöse Siliciumdioxidfilme
Author(s) -
Maier Wilhelm F.,
Wiedorn Michael,
Schramm Herbert O.
Publication year - 1991
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/ange.19911031127
Subject(s) - materials science , chemistry , physics
Eine enge Porenradienverteilung mit Porendurchmessern von etwa 6 ± 2 Å und eine Porosität von etwa 14% kennzeichnen die Siliciumdioxidfilme, die mit Elektronenstrahlverdampfung aus Quarz hergestellt werden können. Sie sind damit alternativ zu Zeolithfilmen als Membranen für die Trennung von Flüssigkeiten und Gasen, für Anwendungen in der nichtlinearen Optik und für mikroelektronische Sensoren von Interesse.