Abbildung und Analyse von Oberflächen mit Rasterelektronenmikroskop und Elektronenspektrometer

Gestalt und Zusammensetzung einer Oberfläche sind in vielen Fällen (Katalyse, Galvanik, Vorbehandlung von Folien oder Blechen, Korrosion, Passivierung, Adsorption etc.) gleichermaßen von Bedeutung. Daraus erklärt sich das große Interesse an Untersuchungsmethoden, die beide erfassen. Bei nicht zu hohen Ansprüchen bezüglich des räumlichen Auflösungsvermögens, der analytischen Möglichkeiten und der Dicke der erfaßten Oberflächenschicht kann man mit Kombinationsgeräten wie dem Rasterelektronenmikroskop und seinen Zusätzen arbeiten. Muß man die zur gleichzeitigen Abbildung und Analyse eingegangenen Kompromisse vermeiden, so ist man gezwungen, die Untersuchungen auf getrennten Spezialgeräten weiterzuführen. Als Beispiel einer Oberflächenanalysenmethode wird die Photo‐ und Augerelektronenspektroskopie (ESCA) kurz besprochen.