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Ein Verfahren zur Messung der Rauhigkeitsautokorrelationsfunktion von polierten Glasoberflächen mittels Streubildscherung
Author(s) -
Walther H. G.
Publication year - 1984
Publication title -
annalen der physik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 1.009
H-Index - 68
eISSN - 1521-3889
pISSN - 0003-3804
DOI - 10.1002/andp.19844960102
Subject(s) - physics
Es wird ein Verfahren zur Messung der Rauhigkeitsautokorrelationsfunktion von polierten Glasoberflächen vorgestellt, bei dem die Interferenz von zwei lateral gegeneinander verschobenen Streulichtabbildungen ausgewertet wird. Dieses Verfahren wird für verschiedene Polituren von BK 7‐ und BaK 4‐Proben getestet. Der auftretende systematische Meßfehler infolge Bildverwaschung wird abgeschätzt.