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Über die Auflösungsgrenze des Emissions‐Elektronenmikroskops
Author(s) -
Storbeck Fritz
Publication year - 1967
Publication title -
annalen der physik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 1.009
H-Index - 68
eISSN - 1521-3889
pISSN - 0003-3804
DOI - 10.1002/andp.19674750510
Subject(s) - physics , philosophy
Unter Berücksichtigung der sphärischen Aberration dritter Ordnung wird eine wellenmechanische Formel für die Auflösungsgrenze des Emissions‐Elektronenmikroskops hergeleitet, die für Austrittsenergien der Elektronen kleiner als 2 eV und elektrische Feldstärken am Objekt größer als 2 · 10 6 V/m bewiesen wird. Für das verwendete Modell (homogenes Feld vor dem Objekt, Punktquelle, einheitliche Austrittsenergie) wird der Einfluß der sphärischen Aberration dritter Ordnung und einer Aperturblende auf die Auflösungsgrenze diskutiert.