Ein Beitrag zur Erklärung der Ungenauigkeit von Sekundärelektronenmessungen

Eine registrierende Anordnung zur Messung von Sekundärelektronen eleminiert den Zeitparameter und setzt dadurch die Streuung der Meßwerte herab. Die in unseren Messungen auf Grund der erhöhten Meßgenauigkeit feststellbaren systematischen Abweichungen werden durch positive Ionen verursacht, die auf dem Objekt entstehen. Die Temperaturabhängigkeit der Zahl auftretender Ionen ist experimentell festgestellt; aus den mitgeteilten Überlegungen erscheint eine Druckabhängigkeit wahrscheinlich, die aber nicht geprüft wurde. Die Messungen ergeben im Bereich von 200° C bis 500° C einen Temperaturkoeffizienten < 1% für Metalle und keine Geschwindigkeitsabhängigkeit der Sekundärelektronen von der Temperatur. Um aus direkten Messungen entscheiden zu können, ob δ von der Primärstrahldichte abhängt, müssen die nur qualitativ nachgewiesenen Ionen quantitativ berücksichtigt werden.