Premium
Verfahrenstechnische Aufgabenstellungen bei der Herstellung von hochreinen Siliciumscheiben
Author(s) -
Kirch Roland,
Ziegert Stephan
Publication year - 2000
Publication title -
chemie ingenieur technik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.365
H-Index - 36
eISSN - 1522-2640
pISSN - 0009-286X
DOI - 10.1002/1522-2640(200009)72:9<968::aid-cite9680>3.0.co;2-y
Subject(s) - citation , humanities , library science , computer science , philosophy