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Possibilities and limits of the miniaturisation of ionisation gauges
Author(s) -
Wilfert St.
Publication year - 2002
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200210)14:5<604::aid-vipr304>3.0.co;2-u
Subject(s) - physics , mechanical engineering , engineering
Der momentan in der modernen Vakuummesstechnik zu verzeichnende Entwicklungstrend wird entscheidend von der Fertigung miniaturisierter Vakuummesssensoren geprägt. Mithilfe der Mikrosystemtechnologie konnten in den letzten Jahren die wichtigsten der heute üblichen Druckmessprinzipien in Sensorstrukturen mit kleinsten Abmessungen bereits erfolgreich umgesetzt werden. Lediglich die Entwicklung miniaturisierter Ionisationsmanometer, den praktisch einzigen Druckmessgeräten für den Hoch‐ und Ultrahochvakuumbereich, blieb bislang (noch) erfolglos. Die Ursache dafür ist in ihrem Messprinzip zu suchen, welches der Miniaturisierung dieser Messgeräte offenbar eine untere Grenze setzt. Im Rahmen dieser Arbeit sollen die Gründe für die begrenzte Miniaturisierbarkeit dieser Messsysteme erörtert und diskutiert werden.