Characteristics of Turbomolecular Pumps

In diesem Artikel werden die Diagramme “Hochvakuum‐Druck als Funktion des Vorvakuum‐Drucks” (“p HV gegen p VV ”) und “Kompression als Funktion des Vorvakuum‐Drucks” (“K gegen p VV ”) vorgestellt. Mit Hilfe dieser Diagramme kann die Leistungsfähigkeit jeder Turbo‐Molekularpumpe vollständig und zuverlässig beurteilt werden. Beide Diagramme werden bislang nur selten in Katalogen gezeigt. Grundsätzlich fehlen in den Katalogen die sogenannten “Grenzkurven” (“Q als Funktion von p VV, Kmax ”). Diese Kurven geben an, welchen Mindest‐Druck die Vorvakuum‐Pumpe bei vorgegebenem Gas‐Durchsatz Q am Vorvakuum‐Stutzen der Turbo‐Molekularpumpe erzeugen muss, damit sich auf der Hochvakuum‐Seite der Turbo‐Molekularpumpe ein stabiler Druck einstellen kann. Mit Hilfe der Gas‐Art‐spezifischen Grenzkurve und der meistens gut dokumentierten entsprechenden Saugvermögenskurve kann man die Funktionstüchtigkeit und Leistungsfähigkeit einer ausgewählten Kombination Turbo‐Molekularpumpe plus Vorvakuum‐Pumpe bereits näherungsweise – aber eben nicht vollständig – beschreiben. Darüber hinaus werden in diesem Artikel analytische Funktionen angegeben, die die Druck‐Abhängigkeit der Kompression und des Saugvermögens ausgezeichnet beschreiben.